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据汇报,有望在下月进行65纳米制程试生产。”

似乎知道方年会有疑惑,说到这里,温叶特地补充了几句:“DUV浸入式光刻实际上一直可以支持到7纳米制程的光刻;

根据晶圆试验线的负责教授解释:

传统国际半导体技术蓝图定义光刻制程技术节点的是最小金属间距。

又根据一个瑞利公式:CD=K1×(λ/NA),降低波长λ,提高镜头的数值孔径NA,降低综合因素K1,即可不断演进光刻制程。

DUV激光光源从90年代末至今就一直是停滞在193nm波长;

不过有人提出了新的方案,一个工程上很简单的办法,在晶圆光刻胶上加1mm厚的水,水可以把193nm的光波长折射成134nm,再做到半周期65nm;

总之……

晶圆实验室的教授很有信心保证能在较短时间内突破至65纳米光刻,之后可能会漫长一点,但也不会是太久远的事情。”

一口气照本宣科的说完,温叶并未多停顿,继续解释。

“虽然梼杌实验室牵头的EUV光刻研发进展十分缓慢,但因为从欧美国家收购的各类技术等等;

对DUV光刻机的研发推动工作很有帮助。”

“……”

最后,温叶总结:“截至目前,就是这些项目有确切成果。”

“小谷负责的胜遇4G组网方案实际实验,还需要一点点时间,应该是在四月底能完成。”

听温叶完全说完后,方年稍作沉吟:“也就是说,梼杌一点都不重视的DUV光刻进展神速,去年最后一个季度投入了70亿,今年第一季度又投入十数亿的EUV进展龟速?”

“也可以这么理解。”温叶无奈回答,“国内无论是梼杌还是协调的那些单位,在EUV方面的积累可以称之为0。”

方年咂咂嘴:“还真是有点意外。”

接着方年看了眼温叶,话锋一转:“不过温秘,你连个照本宣科都整不明白?

实验室那台DUV光刻机要硬上的话,现在就可以生产65纳米,只是在没调整镜头等硬件的情况下,良率会爆炸,无非是多重光照罢了。”

温叶:“……”

她忍不住腹诽:以为谁都跟你个大(B)佬(T)一样,什么都懂?

方年也没想要温叶回答,自顾自问了下去:“神龙511的失败有更具体的汇

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