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双工件台系统、以及光罩与晶圆传输系统、调平调焦系统、对准系统七个子系统。
光刻机性能的三大评价指标是分辨率、套刻精度、和产率，这是一整套极严苛的环境控制、整机控制以及整机软件分析系统。
可以说光刻机的每一个子系统都在挑战人类工程的极限。”
他惋惜的叹了口气，“我的意思是，只有这套图纸，是不够的。我们差的……不是一点半点，甚至很多领域，我们的现状是近乎为零。
坦率的说，给我图纸，给我一年半载，我能造出来，但没法用，你明白吗？”
卿云闻言并没有什么气馁的神色。
很正常，毕竟这群老头老太太们，不是和他一样都是重生的。
他们一直在争气，却没那个解气的经历。
徐端颐望着他，神色复杂的说着，“小卿，追光……光喊口号是没用的。技术、工艺受限，单单突破一点，是没用的。”
云帝闻言，眼神毫不躲闪的，淡淡的说着，“老爷子，我明白的。我虽然年轻，但也没那么天真。”
这个过程，他太清楚了。
华国的第四代光刻机，最初便是如此。
07年我们便达到了90nm，只是光学系统拉胯，别人见你做出来了，直接不卖配件让我们没法量产，直到十年后在国内各参与方通力合作才解决。
虽然那是干式光刻机，对光学系统进口依赖严重，但当前的现状就是就算走浸没式，同样也会被别人封锁。
因为正如徐端颐所言，很多领域就是一片空白，只能依赖进口。
不过……
云帝此时却笑了笑，“老爷子，这就是我们今天坐在这里来商讨的意义所在。
我们今天讨论的纲领，就是从源头来解决这一切的。”
说罢，他又打开了投影仪。
此时的幕布上面，光刻机器七大子系统赫然出现在ppt中，甚至每个子系统又拆分成不同的细分系统。
上面的绿色标明了哪些部件是可以国产的，而黄色部分则是哪些部件是现有技术下可以解决的，如光源，以前没有，是国内没人造光刻机，现在有人要造要用，自然是可以解决的。
毕竟，论到玩激光，华国才是祖宗。
甚至，单从光源来说，成创天院士的研发的kbbf晶体可以反向卡欧美的脖子，没有这玩意儿，根本就没有euv光刻机。
而这个晶体，成创天院
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