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它可以刻画集成电路板,但制造的芯片不能使用。”

田帅接着说道:“现在咱们光刻机还不够精细,根本原因在于光的尺寸太大了,最小也只能缩小到14纳米。”

霍成龙也点头道:“我们打算研制更精细的镜面,对光进行切割和反射,达到缩小光的目的。”

程潇听完后摸了摸下巴问道:“研究结果怎么样?”

“不理想。”

陈泽摇了摇头,叹息一声说道:“可能是因为我们实验室的设备不够精细,打造出来的镜面总是达不到要求。”

“我们的镜面两波峰或两波谷之间的距离达到700~800pm rms,虽然达到了光刻机的镜面标准,但是最多只能将制程工艺从14纳米提高13.5纳米。”

程潇缓缓点头,眉头紧锁,仿佛知道了问题的所在。

几秒后,他才开口道:“学姐学长,我想问你们一个问题。”

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